用作硅油、硅橡胶、药品、气相色谱固定液体、分析试剂、憎水剂等。本品作为封头剂、清洗剂、脱膜剂，主要用于有机化工及医药化工生产中。

以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为沉积单体,在等离子体环境下对思茅松Pinus kesiya和西南桦Betula alnoides木材表面进行了不同时间的硅烷化改性.采用接触角测定仪,X射线光电子能谱仪(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)对处理前后木材表面的润湿性,元素组成及化学状态,表面形貌进行了分析和表征.结果表明:相同处理条件下西南桦的接触角均大于思茅松,且接触角随处理时间增加逐渐增大,处理9 min时达最大值,分别为(131±7.2)°和(138.8±1.7)°,处理时间延长至12 min时,接触角略有下降.处理9 min时思茅松和西南桦木材表面的硅元素质量分数分别为18.80%,17.82%,沉积聚合物薄膜主要由Si—C和Si—CHx(x=1,2,3)组成.沉积后在思茅松木材的细胞壁表面形成了颗粒状结构,而在西南桦木材的细胞壁表面更趋向于形成棒状的结构.